今天(14日)上午,在广州增城,我国首条12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造产线项目——广州增芯正式动工,拉开了广州第四季度全市重大项目开工的序幕。
增芯项目的全称是增芯12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目,由广州智能传感器产业集团发起,批复投资70亿元人民币,将建设月加工2万片12英寸的晶圆制造量产线。项目于2022年12月开工,计划2024上半年通线,2025年年底满产。
同为12英寸晶圆,增芯有何特别?
据介绍,增芯是国内首条12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造产线,为MEMS制造生产线项目。当前,MEMS传感器被看作是未来传感器最重要的类型之一。MEMS即微机电系统(Micro-electro Mechanical Systems),利用集成电路制造技术和微机械加工技术,四川微组装设备 把微传感器、微执行器制造在一块芯片上的微型集成系统。随着工业互联网、大数据、物联网等新一代信息技术的快速发展,先进智能传感器将在智慧时代将大有可为。这也是为什么增芯对广州如此重要。西南地区半导体设备厂家
值得一提的是,增芯是我国少有的全市场化资金来源的芯片制造项目,是我国市场化程度最高的集成电路产业平台之一。如今,增芯项目已与10家MEMS设计骨干企业签订合作协议,共同定制工艺设备、开发特色工艺技术,包括但不限于加速度传感器、惯性传感器、磁传感器、基因测试芯片、微流控芯片、硅基麦克风芯片等,契合未来10年全球MEMS产业市场数倍增长、我国MEMS本土产业数十倍增长的发展趋势。据悉,未来,增芯项目产出的传感器芯片可广泛适用于下游产业的超高清显示屏内。这些芯片就像设备的耳朵和眼睛,让超高清显示屏能够根据外界变化,自动调整显示参数或识别物主信息。增芯项目有关负责人介绍,动工前他们就已与维信诺项目展开了深入交流。
如今,在广州东部地区逐渐形成新一代信息技术产业集聚,也让广州的“制造业立市”更加有底气。

增芯由广州智能传感器产业集团发起,位于广州市增城区永宁大道,批复投资70亿元人民币,建设月加工2万片12英寸的晶圆制造量产线。项目于2022年12月开工,计划2024上半年通线,2025年年底满产。
