半导体设备

在线清洗机

在线清洗机

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产品详情

 四川半导体清洗机FC/L系列 全自动在线式清洗机,适用于高产能的SIP、WLP、FCBGA等半导体器件Molding 前助焊剂残留污染物的半导体清洗机设备。该设备已经稳定用于各类指纹/摄像头模组、通信、声波、射频、电源控制等半导体高可靠性器件的清洗。


 

应用领域

半导体制程
SIP系统级封装、WLP晶圆级封装、FCBGA倒装封装、PANEL板级封装等. IGBT、LEAD FRAME、 IC载板等


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SMT制程

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清洗工艺流程

入料→预清洗→清洗I→清洗II→化学隔离→预漂洗→漂洗I→漂II→最后喷淋→ 风刀切水Ⅰ→风刀切水Ⅱ→风刀循环干燥→出料

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各功能段说明

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设备特点

符合水洗和化学清洗制程
独特的设计,满足底部间隙小的精密清洗要求
快速低温干燥技术
更宽的工艺窗口
提供全自动化上料/下料解决方案
整体不锈钢机身,更耐化学品的持续高温加热需求。


清洗实例

产品封装工艺: FCCSP Stand-off Gap

高度:40-50 μm

待清洗污染物: Solder paste/Flux: AIM SAC305 and Heraeus TFP41 after reflow on back side and underneath of BGA. 

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清洗洁净度判定

利用离子污染度测试仪,测试导电离子残留情况 

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