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真空清洗机、等离子清洗机为真空腔体、电源、真空泵等各类配件可以按照实际清洗的材料自由定做，与常压等离子相比，具有清洗工艺参数自由调节、温度低，清洗全面等特点。广泛应用于活化，退镀，改性，蚀刻，提升附着力和清洗等等功能。该设备也是目前清洗行业最环保，最节能，有效性好的理想设备

                            关于等离子

1.1 什么是等离子体

自然界的等离子体

宇宙中99%的物质都处于等离子状态

自然界常见常见的等离子体：闪电、极光、大气外侧的电离层、日地空间的太阳风、太阳日冕、太阳内部、星云及星团等。

1.2什么是等离子体

人造的等离子体

日常生活中：日光灯、霓虹灯、电弧、等离子体显示屏、臭氧发生器等。

工业应用：等离子体刻蚀、镀膜、表面改性、喷涂、烧结、冶炼、加热、有害物处理。

高科技应用：托卡马克、惯性约束聚变、氢弹、高功率微波器件、离子源、强流束等。

1.3 什么是等离子体

物质的第四种状态

包括离子 (Ion), 电子 (Electron), 自由基 (Free Radical),光子(Photon) 

整体中性(Neutral), 没有电荷(No overall charge)

离子；原子或原子基团失去或得到一个或几个电子而形成的带电荷的粒子。

电子；构成原子的一种粒子，质量小，带负电围绕原子核旋转

自由基团；能量在外部条件下，共价键发生均裂而形成的具有不成对电子的原子或基团。产生的外表活性很高。

1.3 等离子体的分类

高温等离子体

由超高温（如太阳）、聚变等产生的，组成完全电离的等离子体的电子、离子、自由基等粒子都处于热平衡，温度在10000℃以上，也称平衡态等离子体何热等离子体。

热等离子体：温度在1000℃～10000℃之内，大气电弧、电火花和燃烧产生。

低温等离子体：在高频电场的作用下，少量气体分子被电离产生高温电子，穿梭在常温或接近常温的气体中发生碰撞，不断的被电离，并不断向外辐射热能，是一种非平衡体系，也称为非平衡态等离子体和低温等离子体。

1.4 等离子体的清洗原理

1.5等离子体的清洗原理

1.8 等离子处理检验方式

达因测量方式（表面张力）

通常在用等离子清洗机处理后，想测试表面处理结果，常用达因值来测试，而达因值是表征表面张力或者表面能大小的一个参数。达因值来源于达因，达因（dyn）是力的单位，1达因=10-5牛，达因值指的是达因/厘米1dyn/cm = 1mN/m

测试使用达因笔：德国arcotest达因笔。

判断方式：如下图所示，未处理的区域或者处理不合格区域，达因液会成水珠状，处理效果OK的区域，达因液会成平铺状，达因数值越高，表面清洗效果越好

1.9 等离子处理检验方式

接触角测量方式（亲水性）

水滴测量：水滴角测试的作用主要是用来测试物体表面的接触角角度，通过角度值来分析判定物体表面的附着力、粘接性、疏水性、洁净度等重要指标。

判断方式：如右下图所示，未处理的区域或者处理不合格区域，水滴会成水珠状，水滴角度较大，处理效果OK的区域，达因液会成平铺状，水滴角度较小。

接触角测量仪采用参数：测试水为蒸馏水，测试使用的测量方法：斜面拟合、水平拟合、自动拟合

2.1等离子清洗设备设计

常压等离子设备-大气压下等离子

宽幅等离子设备-大气压下DBD放电等离子

真空等离子设备-负压下等离子

2.2 常压等离子系统

真空等离子系统

表面清洗

在用等离子体清洗工件时，工作气体往往用氧气，它被轰击成氧离子、自由基后，氧化性极强。工件表面的污物，如油脂，助焊剂，感光膜，冲床油等，很快就会被氧化成二氧化碳和水，而被真空泵抽走，而达到清洁的目的。 

等离子体清洗也是所有清洗方法中最为彻底的剥离式的清洗，特别适于精密清洗，如电子元器件、电真空元件(阴极帽、销钉、阳极帽)、继电器触头、印制线路板、半导体硅片、芯片封装、液晶显示板、精密机械(千分尺的丝杠、块规、液压件)，并不会对工件产生电击损伤。等离子体清洗属于干法清洗，不用任何清洗剂，去离子水，免除一切运输、储存、回收、再生装置，不会产生任何环境污染，干式工艺！

图1，阳极帽需要和真空玻壳很好的熔接,等离子体清洗可以达到对清洁的要求.

图2，另一种电真空元件,要求极端清洁,才能参与放电,保障真空管内良好的真空.

  图1：                        图2：

等离子体的应用

FPC/PCB行业

多层复合印制板(环氧树脂或聚四氟乙烯)上有成百上千钻出细微孔,只有用等离子体清除孔内塑料钻污,增加了孔内表面的浸润性后,沉铜液才能进入微孔中,保证每个孔内都能沉上铜。

FPC/PCB行业

等离子体去钻污和凹蚀具有以下优点：

      A.易于控制，不必考虑调整溶液和温度；

      B.印制板孔中不会残留化学残余物；

      C.可以处理高板厚孔径比的印制板；

      D.适合于各种基材类型。

       

改善复合材料粘附性

1.大多数鞋材，尤其是鞋底材料，都是高分子聚合材料，如EVA，TPR等，这些材料都是没有极性的，因此在粘合前要进行处理。

2.等离子体中电子和离子的能量可达10eV以上，当等离子体接触鞋材表面，如EVA，TPR等，化学键的能量都低于10eV，等离子体就有足够的能量破坏高分子材料表面的化学键，改变其表面能，经过等离子体处理后的材料表面生产活性基团，增加表面极性，从而增强鞋材粘合力。

3.聚四氟乙烯(PTFE)塑料板浸润性很差，滴上的水滴成球形，可以在板面上滚动，浸润角达120度以上，做复合材料很难粘结。

4.这种0.05mm的聚四氟乙烯薄膜用常规的萘钠腐蚀法活化，很难控制碳化程度，而且颜色难看。经等离子体表面清洗和活化以后，粘结性，浸润性大大改善,10微升的水滴上去马上就散开了.膜的颜色也根本没有改变。

左图，PTFE，聚四氟乙烯表面的疏水性极强,对水的浸润角可达130度以上。

右图，经等离子体处理处理后，PTFE环表面亲水性大大提高，浸润角有25度。几滴水滴到一个填料环上，就会浸润整个表面，而且水膜稳定，不会破碎。除PTFE外，其他的材质，如PVC，PP的材料经等离子体改性也都会大大提高粘接效果

微电子及手机行业

使用等离子处理后，可有效的提升玻璃的粘接能力。

微电子及手机制造业

手机在粘接显示模组前，需要经过等离子进行等离子处理，保证玻璃表面的洁净度，易于粘接不脱落，不起泡

生物医用材料

介入治疗用的心脏冠状动脉支架，经等离子体清洗之后还要用等离子体涂敷上抗血凝和抗表皮增生材料。

生物医用材料

聚苯乙烯制造的细胞培养皿,经等离子体处理后,大大提高了贴壁培养细胞的能力。

生物医用材料

血液过滤器的内壁和滤芯都需要等离子体的抗血凝处理,以提高其过滤能力和使用寿命。

生物医用材料

血医免疫测试用的测试板和测试管经等离子体的活性团以后,实现了抗体在上面的共价结合, 克服了以前只靠物理吸附,产品不稳定,变异系数大,成本高的缺点。

汽车制造业

连接各种不同的材料，例如 顶部成型粘接 后门附件 GFRP(玻璃纤维增强材料)，CFRP(C纤维复合材料)

汽车制造业

汽车后门需要进行PP，PPGF材质粘接前等离子处理，红色虚线处为需等离子处理区域。

等离子处理后，表面活性增加，亲水性能好，粘接效果良好。

汽车制造业

控制面板涂布前需要进行等离子处理，清洁表面，提升表面活性，亲水性，增强表面粘合力。