什么是溅射离子泵？

利用了真空放电和化学作用的超・极高真空泵

这是用于产生超・极高真空的典型泵之一。由于向由阳极和阴极组成的电池（泵电池）施加电场是简单操作原理，没有驱动并且不产生声音或振动。另外，这是一种储存型的泵，稳定运行期间，无需辅助泵即可单独排气。广泛用于分析仪器和加速器。（四川半导体微组装设备公司）

使用了溅射离子泵的技术！

加速器、超・极高真空排气设备、分析设备、电子束照射设备等

溅射离子泵的特征

离子泵的优点

    泵的结构上，没有机械动作部分，所以不会引起噪音和振动。因此，它广泛用于分析仪器和加速器等领域。

 应用于极・超真空，已通过ISO标准，极限压力10-9 Pa测试 。

 稀有气体排气增强型的排气性能是氩气的两倍。

 在超高真空范围内实现高抽速。

 在短时间内可以达到超高真空。

 在超高真空范围内具有出色的启动特性。

优点　可获得超・极高真空，无机械振动和噪音，完全无油，可选择任何安装方式等

缺点　难以排出大流量的气体，由于运作范围在高真空，因此需要粗抽泵。

溅射离子泵的结构

用钛吸气剂膜捕捉气体。

泵壳，磁轭，由阳极和阴极组成的电池（泵电池），在此施加电场的简单结构

１）一次电子生成
２）一次电子螺旋轨道
３）一次电子和气体分子的撞击产生一次离子
４）离子撞击阴极，敲击出钛原子
５）钛原子吸附活性气体分子，离子被捕获在阴极中

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