八、射频MEMS

射频MEMS器件分为MEMS滤波器、MEMS开关、MEMS谐振器等。

射频前端模组主要由滤波器、低噪声放大器、功率放大器、射频开关等器件组成，其中滤波器是射频前端中最重要的分立器件，滤波器的工艺就是MEMS，在射频前端模组中占比超过50%，主要由村田制作所等国外公司生产。

因为没有适用的国产5G MEMS滤波器，因此华为手机只能用4G，也是这个原因，可见MEMS滤波器的重要性。相关介绍可查看《华为也被卡住？错过了芯片，中国千万别再错过MEMS了！》。

滤波器（SAW、BAW、FBAR等），负责接收通道的射频信号滤波，平行封焊  将接收的多种射频信号中特定频率的信号输出，将其他频率信号滤除。以SAW声表面波为例，通过电磁信号-声波-电磁信号的两次转换，将不受欢迎的频率信号滤除。

下图是各种MEMS滤波器的微观结构、封装形态等信息、等离子清洗机 可以直观了解各种MEMS滤波器的差别。

射频开关（Switch），不是一个单纯的开关，而是一个切换器，主要用于在射频设备中对不同方向（接收或发射）、不同频率的信号进行切换处理的装置，（四川实验室检测设备）实现通道的复用。

RF MEMS开关种类繁多，它们可以用不同的机制来驱动气相清洗机、。由于功耗低、尺寸小的特性，静电驱动常用于射频微机电系统开关设计。MEMS开关也可使用惯性力、电磁力、电热力或压电力来控制打开或关闭。

下图是“悬臂梁” RF MEMS开关。在这种配置中，固定梁悬挂在基板上，当梁被压下时，梁上的电极接触基板上的电极，将开关置于“开启”状态并接通了电路。

最新一代的RF MEMS开关大多是电容式器件。电容式开关使用电容耦合工作，非常适合高频率的射频应用。我司专注成都组装设备，四川微组装设备，四川半导体设备）

在操作过程中，力被施加到像桥一样悬在基板上的梁。当梁被该力（例如静电力）拉下时，会接触到基板上的电介质、在线清洗机 使信号终止。桥型电容开关的横截面如图 3 所示，其中使用CoventorMP® 3D所建的电容式RF MEMS开关模型处于未变形状态，如图 4 所示。

振荡器/谐振器（Oscillator/Resonator），振荡器是将直流电能转变成交流电能的过程，用来产生一定频率的交流信号，属于有源器件。谐振器是电路对一定频率的信号进行谐振，主要是用来筛选出某一频率，属于无源器件。

下图是MEMS谐振器与传统石英晶振的对比，MEMS谐振器具有更高的稳定性、可靠性以及更小的体积。

九、DMD（数字微镜器件）

DMD（Digital Micromirror Device，数字微镜器件）是光学MEMS的重要类别、共晶炉，主要应用于DLP（Digital Light Processing，数字光处理）领域，即影像的投影。

在投影系统中，DMD芯片是其中的核心部件之一。

DMD技术通过数字信息控制数十万到上百万个微小的反射镜，将不同数量的光线投射出去。每个微镜的面积只有16×16微米，微镜按矩阵行列排布，每个微镜可以在二进制0/1数字信号的控制下做正10度或负10度的角度翻转。

目前DMD芯片全世界只有美国的TI（德州仪器）可以生产。

下图是DMA芯片的封装结构示意图，可以点击放大查看。

下图是DMD芯片里，每个微镜的运动情况，而这样的微镜，在一个DMD芯片里面数以百万计，每一面反射镜都可以独立反转运动，正负方向翻转，每秒钟翻转次数高达数万次。

下图是DMD芯片每一个微镜翻转，折射光线的过程，每一片微镜都可以单独控制，折射相应的光线，从而形成不同的色彩、明暗，每一个微镜就如同我们电视的每一个像素点。

十、MEMS喷墨打印头

MEMS喷墨打印头其实和上文中介绍的MEMS微流控系统是同一类型，均属于MEMS微流控领域的应用，不过不同的是，MEMS微流控系统主要用在生物检测上，MEMS喷墨打印头是用在打印机上，控制油墨的喷吐。

简单点说，喷墨打印头的作用是挤出墨汁，有的是利用压电薄膜震动来挤压墨水，有的是利用加热气泡变大，将腔体内的墨汁挤出。

有趣的是，以这两种MEMS喷墨技术，形成了打印机两大阵营，以爱普生、Brother为代表的微压电打印技术，和使用热发泡打印技术的惠普、佳能等厂商，互为对手。

结语

本文主要目的是想以动图、图片等最直观的方式，为我们展示主流MEMS传感器的工作原理，以对各类MEMS传感器有基本的了解。

受限与篇幅和编者个人能力，并未对各MEMS传感器的原理有深入讲解，如有知识上的错误欢迎在传感器传感器公众号本内容底下留言讨论。