半导体工艺

行业中常见的DrMOS结构介绍

时间:2024-05-09 15:35 作者:小编 分享到:

业界主流的Powerstage玩家:英飞凌、瑞萨、TI、MPS,其中英飞凌、瑞萨、TI的DrMOS的power MOS部分采用VDMOS(vertical double-diffused MOS,垂直双扩散金属氧化物半导体场效应管),MPS的DrMOS的power MOS部分采用LDMOS(lateral double-dif fused MOS,横向双扩散金属氧化物半导体场效应管)。(四川半导体微组装设备公司

    本文以TI和MPS的DrMOS为例,结合切片实物图介绍这两种类型DMOS的结构。(四川半导体微组装设备自动化

    TI:其DrMOS由1个驱动IC和2个分立的上下管MOS组成,上下管为采用NexFET技术的VDMOS

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    NexFET技术的VDMOS结构示意图和切片SEM实物图:

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    MPS:驱动IC和上下管集成在1个die上,上下管为LDMOS,结构示意图如下图所示。

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    LDMOS结构示意图和切片SEM实物图:

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