全自动FOUP清洗机
产品介绍:全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12inch FOUP/FOSB Particles及金属离子清洗。设备配备多级精密过滤系统,有效保证洁净等级,满足制程需求class10/100。配置多种喷淋清洗工艺,可实现360清洗,保证制程的高精度清洗需求。配备真空干燥系统可提升效率,满足低湿度要求,湿度实时监控。(...
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产品介绍:全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12inch FOUP/FOSB Particles及金属离子清洗。设备配备多级精密过滤系统,有效保证洁净等级,满足制程需求class10/100。配置多种喷淋清洗工艺,可实现360清洗,保证制程的高精度清洗需求。配备真空干燥系统可提升效率,满足低湿度要求,湿度实时监控。(...
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