组装工艺、良率、测试和成本的挑战
3D封装的组装步骤比传统封装复杂多了,比如TSV晶圆制造和芯片切割、微凸点热压键合、POP多次回流焊接,工艺复杂就带来了良率、测试和成本方面的难题.
发热、封装设计和建模的挑战
发热元件在3D封装里挨得太近,热流密度上去了,散热路径也变复杂了,发热就成了大问题。
系统复杂度提高后,3D封装设计就很有挑战性了,得开发专门的设计软件才行。而且3D封装里有多层焊点、底部填充胶、封装料。热膨胀系数(CTE)不匹配产生的热应力,跟吸湿太多产生的吸湿应力经常叠加在一起,应力建模就更复杂了。对于直径只有几微米的互连,比如TSV,建模时还得考虑微观结构、材料性能的各向异性、再结晶、随时间变化的相态演变。
材料和基板的挑战
3D封装的互连尺寸更小、凸点间距更紧、芯片间隙更窄,这给底部填充、芯片贴装、除助焊剂工艺都带来了挑战。而且3D封装常用的TCB工艺跟传统回流工艺完全不同,整个键合过程几秒钟就完事,不像以前要10多分钟。传统的底部填充胶和助焊剂材料必须大改,不然会出现填充空洞、助焊剂残留导致的分层、焊料短路或润湿不良这些问题,影响良率。
要实现高度集成的3D封装,基板都得满足更高的信号和电源密度要求。基板过孔、通孔、走线都要更小,间距要更紧。这些都给基板翘曲控制等工艺带来很大挑战,要做到更精细的互连尺寸和间距。
质量、可靠性和失效分析的挑战
复杂的3D封装有各种尺度的互连,从几微米到1000微米都有。在3D集成过程中,互连要经过多次回流焊接,制造和组装过程中产生的缺陷、不同材料的CTE不匹配、互连里的微观结构演变,都会导致新的质量和可靠性问题。而且3D封装在高可靠性产品上的应用越来越广,对质量和可靠性提出了更高要求。
失效分析对3D封装技术开发至关重要,因为深入的失效根因分析能找到解决质量和可靠性问题的办法。但3D封装太复杂,故障定位和失效分析就特别难。首先,可靠性测试后一个样品里可能有多个失效点,要对每个失效点做完美分析。其次,3D封装里的电性失效可能来自不同的芯片、组装层或互连,特别需要能提供三维缺陷信息的高分辨率故障定位技术。找到缺陷后,还得做物理失效分析来研究根因。
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