掩模版的作用是将承载的电路图形通过曝光的方式转移到硅晶圆等基体材料上,从而实现集成电路的批量化生产。掩模版广泛应用于半导体、平板显示、电路板、触控屏等领
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掩模版的作用是将承载的电路图形通过曝光的方式转移到硅晶圆等基体材料上,从而实现集成电路的批量化生产。掩模版广泛应用于半导体、平板显示、电路板、触控屏等领域。
半导体掩模版产品广泛应用于功率半导体、MEMS传感器、IC封装、模拟IC等特色工艺半导体领域,终端应用涵盖新能源、光伏发电、汽车电子、工业控制、无线通信、物联网、消费电子等场景。
其中IC封装的主要功能之一是将集成电路内部功能电路与外部电路相连接。随着集成电路的逻辑功能复杂性、集成度不断提高,封装需要的引脚数量不断增多,封装形式更加复杂化,这一过程中需要使用专业的半导体封装掩模版进行封装图形的大批量复刻,其图形复刻原理与其他半导体掩模版类似。
特色工艺半导体领域,全球功率半导体主流制程为:
相比较而言,半导体掩模版在最小线宽、CD精度、位置精度等重要参数方面,均显著高于平板显示、PCB等领域掩模版产品。
掩模版是半导体制造工艺中的关键材料,用于半导体制造的光刻环节。半导体制造的光刻是指通过曝光工序,在晶圆表面的光刻胶上刻画出电路图形,然后通过显影、刻蚀等工艺流程,最终将电路图形转移到晶圆上的过程。
半导体器件和结构是通过生产工艺一层一层累计叠加形成的,芯片设计版图通常由十几层到数十层图案组成,芯片制造最关键的工序是将每层掩模版上的图案通过多次光刻工艺精准地转移到晶圆上(如下图所示)。半导体光刻工艺需要一整套相互之间能准确套准的、具有特定图形的“光复印”掩模版,其功能类似于传统相机的“底片”。掩模版是半导体制造工艺中最关键的材料之一,其品质直接关系到最终产品的质量与良率。
半导体掩模版具有较高的技术壁垒半导体掩模版的生产涉及CAM、光刻、检测三个主要环节,具体包括版图处理、图形补偿、曝光、显影、刻蚀、清洗、缺陷检验、缺陷修补、参数测量、贴光学膜等多项复杂工艺,对补偿算法、制程能力、精度水平、缺陷管控具有严格要求,技术壁垒较高。
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