共晶焊接的核心是通过形成异种金属间的共晶组织,实现可靠牢固的金属连接。在半导体封装的芯片安装过程中,首先要求芯片背面存在金属层。通常,功率器件的背面金属层为 Ti/Ni/Ag 结构;而普通芯片因背面为硅材质,且共晶焊接温度较高,同时这类芯片功率较小、发热有限,对地电阻敏感度低,所以一般不采用共晶装片,而是选择导电胶黏结的方式。不过在特殊场景下,若基板焊盘表面经过镀金处理,也可对芯片纯硅背面实施共晶加工,这类场景通常对可靠性和密封性有较高要求,具体过程将在后续详述。在深入探讨共晶焊接工艺前,先了解其基本原理。
共晶焊接的具体方式是:利用芯片背面的金硅合金,与基座或引线框架上镀层(如银层)在高温氨气氛保护下(温度范围 400~440℃)发生反应形成合金,从而实现芯片的固定。这种工艺要求芯片背面预先蒸镀金层,其导电与导热性能优异,适用于尺寸较小的芯片,尤其适合功率晶体管芯片。与采用合金焊料的装片方式相比,这种方式更有利于芯片工作时的散热。
共晶焊接技术在电子封装领域应用广泛,涵盖芯片与引线框架或基板的连接、基板与管壳的装配、管壳封帽等场景。与传统的环氧导电胶连接相比,共晶焊接具有热导率高、电阻小、传热迅速、可靠性强、连接后剪切力大等优势,适用于高频、大功率器件中芯片与基板、基板与管壳的互联。对于有较高散热需求的功率器件,采用共晶焊接能有效提升散热效率。
共晶焊接借助共晶合金的特性完成焊接过程,共晶合金具有以下特点:①熔点低于纯金属组元,相较于熔化焊工艺大幅简化了操作流程;②流动性优于纯金属组元,凝固过程中可避免枝晶对液体流动的阻碍,铸造性能更优;③恒温转变(无凝固温度范围)减少了偏聚、缩孔等缺陷;④共晶凝固能形成多种显微组织,尤其是规则排列的层状或杆状共晶组织,可成为性能优异的原生复合材料。
共晶现象指共晶焊料在较低温度下发生共晶成分的熔合,此时共晶合金直接从固态转变为液态,不经过塑性阶段,其熔化温度被称为共晶温度。“真空 / 可控气氛自动共晶炉” 是近年来国际上推出的新型设备,可实现各类器件的共晶工艺。该设备在共晶过程中无需使用助焊剂,且具备抽真空或充惰性气体的功能 —— 在真空环境下进行共晶能有效减少空洞,若配合专用夹具,还可实现多芯片的一次共晶操作。
真空 / 可控气氛自动共晶炉主要用于芯片焊接,其中芯片与基板的焊接是其核心应用方向。通常采用金锡(AuSn 80/20)、金硅(AuSi)、金锗(AuGe)等合金焊片,将芯片焊接至基板(载板)上。具体操作时,需将合金焊片置于芯片与基板间的焊盘位置。为防止氧化物生成,芯片背面通常会镀一层金。上述三种合金焊料已在半导体器件中成功应用,具备优良的机械性能与热传导性。
在微波、毫米波电路中,常用的合金焊料为 AuSn(熔点 280℃)和 AuGe(熔点 365℃)。由于两者熔点差异较大,实际应用中一般先用 AuGe 合金将膜电路焊接在载板上,再用 AuSn 合金焊接微波芯片、电容等元器件。为避免芯片等元器件受到高温热冲击,部分企业采用 AuSn 合金将薄膜电路共晶焊接到载板,而其他芯片元器件则采用导电胶焊接。
在多芯片组件中,焊接芯片与基板所用的材料及组装工艺,与混合电路中的应用大致相同。和混合电路类似,90% 以上的多芯片组件会使用低成本且易于返修的环氧树脂;焊料或共晶焊接法则主要用于大功率封装的内部互联,或需满足宇航级要求的封装互联。
多芯片组件作为当前微组装技术的典型产物,是一种能满足民用、军用、宇航电子装备及巨型计算机在微小型化、高可靠性、高性能等方面迫切需求的先进微电子组件。它将多个芯片及其他片式元器件集成在一块高密度多层互连基板上,并封装于管壳内。凭借高密度、高性能、高可靠性、轻重量、小体积等显著优势,多芯片组件被广泛应用于航空航天、军用通信、常规武器等军事领域。目前,多芯片组件在密度持续提升的同时,正朝着大功率、高频方向发展,而多芯片共晶内互联工艺是推动大功率、高频器件制造水平提升的关键技术。
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