晶圆厚度测量仪 外观尺寸760*500*500mmX、Y测量行程200*200mmZ轴可调行程 1.6-100mm有效测量范围160*160mm扫描最小步距1μm光斑直径18~30μm横向分辨率9~15μm轴向分辨率30nm检测重复精度0.1μm与表面角度902测量厚度范围10~2900μm适应材质Si(硅）、Doped-Si(涂层硅... 查看详情 +
