作为电子系统中的最基本单元，半导体功率器件在包括汽车电子、消费电子、网络通信、电子设备、航空航天、武器装备、仪器仪表、工业自动化、医疗电子等各行业都起着至关重要

半导体设备是制造芯片的关键，换句话说，掌握了半导体设备的核心技术，那么参与芯片制造也就事半功倍了。全球最大的光刻机制造商ASML公开展示了最新一代的NA EUV

摘要：通过封装结构设计及其制造工艺流程和LTCC基板加工、围框与基板共晶焊接、平行缝焊封盖等制造工艺的研究，成功研制了适于多芯片、多元器件微电子模块的LTCC一

摘要随着新一代信息装备内部SiP集成密度不断提升，传统的平面混合集成技术已接近极限，芯片三维集成技术必将成为未来SiP内部集成的主流形态，激光隐形切割技术是芯片

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光的波长性是理解颜色、偏振、衍射、图像形成的物理基础。眼-脑视觉系统负责检测光，包括感知颜色和光强度的差异，我们将这种差异称为对比度。从光学意义上看，眼睛也是一

摘要：对微电子模块气密性封焊技术的研究现状进行了总结，综述了平行缝焊技术、钎焊封焊技术及激光封焊技术的工艺特点及应用领域，重点介绍了不同气密性封焊技术对结构设计

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