半导体工艺

半导体工艺

光刻技术的演变!

光刻技术的演变!

本文回顾了光学光刻、极紫外光刻技术。讨论了这些技术的演变过程及其在设备制造中的应用。此外,还讨论了过去十年中为提高这些设备的分辨率而开发的不同曝光工具、化学放大

键合工艺——铝质焊盘

键合工艺——铝质焊盘

摘要:从铝质焊盘键合后易发生欠键合和过键合的故障现象着手,就铝焊盘上几种常见键合方式进行了探讨,得出键合的优先级为硅铝丝超声楔形键合、金丝热声球形键合、金丝热压

SiC功率模块的液冷散热设计

SiC功率模块的液冷散热设计

摘 要为综合评估SiC功率模块的液冷冷板散热效果,设计了串联、并联与串并联三种冷板流道结构,从器件温升、系统能效、散热性能三个方面共计10项指标评估了冷板性能,

干货——碳化硅离子工艺介绍

干货——碳化硅离子工艺介绍

传统的硅功率器件工艺中,高温扩散和离子注入是最主要的掺杂控制方法,两者各有优缺点。一般来说,高温扩散工艺简单,设备便宜,掺杂分布轮廓为等向性,且高温扩散工艺引入

芯片的那些事

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前言我们聊聊芯片设计、流片、验证、制造、成本的那些事;流片对于芯片设计来说就是参加一次大考。(四川半导体微组装设备公司)流片的重要性就在于能够检验芯片设计是否成